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紫外光刻機(jī)

99%

滿意度

紫外光刻機(jī)

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項(xiàng)目介紹

工作原理:將設(shè)計(jì)的掩模圖形通過(guò)光刻機(jī)曝光轉(zhuǎn)移到涂有光刻膠的晶片上。

樣品要求

1.紫外光波長(zhǎng):365nm,曝光能量密度18-20mW/cm2可調(diào)

2. 樣品尺寸:6英寸及以下

3. 分辨率:接觸曝光<0.5μm,接近式曝光≤1μm

4.對(duì)準(zhǔn)精度:<1μm

項(xiàng)目案例

紫外光刻機(jī)

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