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顯微式激光測振儀

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顯微式激光測振儀

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項目介紹

顯微式激光測振儀（Micro System Analyzer）可用于MEMS領域的壓電片、三維慣導、壓力傳感器陣列等微小、復雜結構的三維可視模態測試。

這種非接觸式、可視化、高精度的測試方法，代替了傳統的電測法，幫助用戶清楚的觀察和測量一個結構的動態特性并準確以視頻、圖片和數據的形式描述出來，

顯微式激光測振儀通過非接觸，數字顯微和目前測量動態特性及振動精度最高的 激光多普勒測振原理，快速，高效，精準獲得壓電片的區域振 動數據，除了傳統二維數據的曲線描述和分析，

還可以通過模 態動圖方式更直觀表現，解決傳統電測方法不可視，精度低， 沒有過程數據無法進行研究等問題。

樣品要求

1.樣品臺200mm?200mm，高度10cm以內；

2.用于面外和面內振動測量，振幅分辨率達亞皮米級；振幅0.5mm以內都可測試；

3激光光斑小于4μm，橫向分辨率極高；測試距離大，可達38mm；實時振動測量，高達 25MHz 的大帶寬。

項目案例

傳感器振型三維分析圖

常見問題
1、應用領域包括？

典型應用領域包括：慣性傳感器，如加速度計和陀螺儀；微機電傳感器和致動器 (MEMS) ；打印機噴墨頭；壓力傳感器薄膜；耳機、微型鏡頭等。

尤其適用于MEMS領域的壓電片、三維慣導、壓力傳感器陣列等微小、復雜結構的三維可視模態測試。

顯微式激光測振儀

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