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    自由曲面光學面形測試儀（NMF600S）

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    自由曲面光學面形測試儀（NMF600S）

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    項目介紹

    自由曲面光學面形測試儀，尤其適用非對稱回轉結構的自由曲面測量，如元件表面面形誤差分布圖，輸出PV、RMS及曲率半徑誤差等參數，測量精度達到15 nm。

    樣品要求

    1、樣品尺寸（非球面產品）：φ600mm以內，厚度150mm以內，精度15nm.

    2、檢測狀態：RMS=**mm,PV=**mm（pdf格式),自動定位功能可對非球面、自由曲面、平面、凹面和凸面等各種形狀進行短時間、高精度測量。

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