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    橢偏儀

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    橢偏儀

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    項目介紹

    橢偏儀是一種用于探測薄膜厚度、光學常數以及材料微結構的光學測量儀器。由于測量精度高，適用于超薄膜，與樣品非接觸，對樣品沒有破壞且無需真空，因此它成為一種極具吸引力的測量儀器。

    測試能力：

    1. 入射角：55°-90°；

    2. 波長范圍：190nm-2100nm；

    3. 溫度范圍：室溫-600°C。

    樣品要求

    1. 樣品需要鏡面；

    2. 樣品為薄膜；

    3. 多層膜需要有陪片；

    4. 長寬>20mm，樣品的整體厚度＞1mm。

    項目案例

    常見問題
    1、橢偏儀測試的光譜范圍如何選擇？

    橢偏儀的光譜范圍在深紫外142nm到紅外33μm可選。光譜范圍的選擇取決于被測材料的屬性、薄膜厚度以及關注的光譜段等因素。例如，摻雜濃度對材料紅外光學屬性有很大的影響，因此需要能測量紅外波段的橢偏儀；薄膜的厚度測量需要光能穿透薄膜，到達基底，因此需要選取該材料的透明或部分透明光譜段；對于厚的薄膜，選取長波長更有利于測量。

    2、橢偏儀測試適用于哪些材料？

    適用于無機材料，樣品需要有一定透光性。

    3、橢偏儀測試可以得到哪些參數？

    膜厚、波長-折射率曲線、波長-消光系數曲線等。

    橢偏儀

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