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薄膜熱電參數測試系統（MRS）

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項目介紹

測試薄膜材料的塞貝克系數和電導率。

測試范圍：塞貝克系數：S ≥ 8μV/K； 電阻率：0.1μΩ?m~ 106μΩ?m。

相對誤差精度：賽貝克系數≤±5%，電阻率≤±5%；

溫控方式/溫度范圍：81K-700K；

樣品要求

1.樣品滿足上述樣品尺寸，待測面需平整，薄膜均勻性好，保證與銅片接觸良好；

2.薄膜材料厚度最低可至 50nm，其均勻性有較高要求，薄膜厚度達到微米級別較好，長 x 寬:10*10mm；

3.薄膜材料的襯底需選擇電阻率較大或絕緣材料為宜，如玻璃、Si 等材料

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